Реферат Плазменная обработка, номер: 284923

Введение
Физическая сущность процесса плазменной обработки
Виды обработки изделия плазмотроном
Плазмотрон с вихревой стабилизацией разряда
Дуговой плазматрон постоянного тока
Высокочастотный плазматрон
Область применения и достоинства плазменной обработки
Заключение
Список использованных источников
1. Данилина Т.И., Кагадей В.А., Анищенко Е.В. Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие. – Томск: В-Спектр, 2018. – 268 с.
2. Кривобоков В.П. Радиационные и плазменные технологии: терминологический справочник. – Новосибирск: Наука, 2016. – 334 с.
3. Кривобоков В.П., Соловьев А.А., Сочугов Н.С. Плазменные покрытия (свойства и применения): учебное пособие. – Томск: Изд-во Томского политехнического университета, 2017. – 136 с.
4. Кузьмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. Кн.1. Введение в физику и технику магнетронного распыления. – К.: Аверс, 2018. –278 с.
5. Соснин Н.А., Ермаков С.А., Тополянский П.А. Плазменные технологии: руководство для инженеров. – СПб: Изд-во Политехнического университета, 2008. – 406 с.
6. Справочник по физике для инженеров и студентов вузов/ Яворский Б.М., Детлаф А.А., Лебедев А.К. – М.: ООО «Издательство Оникс», 2018. – 1056 с.
7. Юрьева А.В., Ковальчук А.Н. Введение в плазменные технологии и водородную энергетику: учебное пособие / А.В. Юрьева, А.Н. Ковальчук; Томский политехнический университет. − Томск: Изд-во Томского политехнического университета, 2014. – 90 с.