Диплом Ионная имплантация, номер: 233321

"ВВЕДЕНИЕ
1. ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛАЗМЫ ГАЗОВОГО РАЗРЯДА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТЕЙ МЕТАЛЛОВ
1.1. Высокоэнергетические методы модификации поверхности материалов
1.2. Современное состояние технологии ионной имплантации
1.3. Физика процессов протекающих в газоразрядной плазме
1.4. Постановка задачи исследований
2. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ИОННОЙ ИПЛАНТАЦИИ
2.1. Теоретическое обоснование необходимости увеличения степени ионизации газа при создании и ускорении ионов из плазмы
2.2. Реализация технологии ионной имплантации
3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛАЗМЫ ГАЗОВОГО РАЗРЯДА УСКОРИТЕЛЯ
3.1. Устройство и принцип действия экспериментальной установки
3.2. Исследование влияния рабочих параметров газа, и параметров прикладываемого к электродной системе высоковольтного импульса на степень его ионизации
4. БЕЗОПАСНОСТЬ И ЭКОЛОГИЧНОСТЬ ПРИ ЭКСПЛУАТАЦИИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ УСТАНОВКИ
4.1. Потенциальные опасности при работе с установкой
4.2. Требования к помещению лаборатории
4.3. Категория помещения лаборатории в отношении опасности поражения людей электрическим током. Меры электробезопасности
4.4. Расчет освещения лаборатории
4.5. Организационные мероприятия
4.6. Противопожарные мероприятия в лаборатории
4.7. Размещение оборудования в лаборатории и организация рабочего места оператора
4.8. Экологичность
4.9. Вывод
5. ОЦЕНКА ЭКОНОМИЧЕСКОЙ ЭФФЕКТИВНОСТИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ УСТАНОВКИ «БУЛАТ-3Т»
5.1. Определение стоимости оборудования технологической установки
5.2. Определение стоимости монтажных работ
5.3. Расчет годовых эксплуатационных затрат на проведение экспериментов 5.4. Определение стоимости одного эксперимента
5.5. Определение затрат и стоимости электроэнергии
5.6. Сферы применения экспериментальной установки
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. – М.: Наука, 1987. – 597 с.
2. Ховатсон А.М. Введение в теорию газового разряда: Пер. с англ. / Под ред. Иванчика И.И. – М.: Атомиздат, 1980. – 182 с.
3 Капцов Н.А. Физические явления в вакууме и разряженных газах. – М., Л: ОНТИ, 1937. – 440 с.
4, Энгель А., Штенбек М. Физика и техника электрического разряда в газах Т.1. Основные законы: Пер. с нем. / Под ред. Капцова Н.А. – М.; Л.: ОНТИ, 1935. – 251 с.
5. Энгель А, Штенбек М. Физика и техника электрического разряда в газах. Т.2. Основные законы: Пер. с нем. / Под ред. Капцова Н.А. – М.; Л.: ОНТИ, 1936. – 382 с.
6. Браун С. Элементарные процессы в плазме газового разряда: Пер. с англ./ Под ред. Франк-Каменецкого Д.А. – М.: Атомиздат, 1963. – 323 с.
7. Энгель А. Ионизирование газы. Пер. с англ. / Под ред. Иоффе М.С. –М.: Физматгиз, 1959. – 332 с.
8. Велихов В.П., Ковалев А.С., Рахимов А.Т. Физические явления в газоразрядной плазме. – М.: Наука, 1987. – 160 с.
9. Каган Ю.М., Персль В. И. Зондовые методы исследования плаэмы. –М.: Наука, 1963. – 452 с.
10. Степанчук К.Ф. Типяков Н.А. Техника высоких напряжений. Учебное пособие для вузов. – М.: Высшая школа, 1982. – 367 с.
11. Правила устройства электроустановок. – М.: Энергоатомиздат, 1986.
12. Чунихин П.А. Электрические аппараты. Учебник для энергетических и электротехнических институтов и факультетов. – М.: Энергия, 1975.
13. Алексеев Б.В., Котельников В.А. Зондовый метод диагностики плазмы. – М.: Энергоатомиздат, 1988. – с. 240.
14. Лебедев Ю.А. Введение в зондовую диагностику плазмы пониженного давления. – М.:; МИФИ. 2003.
15. Котельников И.А., Ступаков Г.В. Лекции по физике плазмы: Учеб. пособие для студентов физического факультета НГУ/ Новосиб. ун-т. Новосибирск, 1996, – 136 с.
16. Москалев Б.И. Разряд с полым катодом. – М., «Энергия», 1969.
17. Габович М.Д., Плешивцев Н.В., Семашко Н.Н. Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических цепей. – М.: Энергоатомиздат, 1986. 248 с.
18. СНиП 23-05-95.
19. ГОСТ 12.2.033-98. Рабочее место при выполнении работ стоя. Общие эргономические требования.
20. Единые нормы амортизационных отчислений на полное восстановление основных фондов народного хозяйства СССР от 22 сентября 1990 года. № 1072. – М.: – 1991.


"